第二天下午，列车缓缓驶入长春站。
车窗外，站台的景象与北京、山海关截然不同。
灰色的水泥站台更显宽阔，立柱上刷着半人高的深绿色油漆。
月台上的人群穿着厚实的棉衣，男人大多戴着东北常见的狗皮帽子，女人围着厚厚的毛线围巾，呼出的白气在清冷的空气中凝成一团团。
“长春到了。”王营长已经收拾好行装，“宋教授，小吕，小谢，咱们就此别过，祝你们工作有成！”
三人与王营长道别后，提着行李下车。
刚踏上站台，凛冽的寒风便扑面而来，比北京的风更干更硬，像带着细小的冰针。
“宋教授！吕辰同志！谢凯同志！”一个穿着蓝色棉制服、戴眼镜的中年男人朝他们快步走来，“我是长春光机所科研处的李振华，奉所里指示来接三位！”
寒暄过后，一行人穿过车站大厅，走出大门。
长春的街道比北京更宽阔，路边的建筑多是三四层的苏式楼房，灰黄色的外墙在冬日的天空下显得格外肃穆。
街边高大的杨树叶子早已落尽，树干上整齐地刷着白色石灰，像统一的冬装。
铅灰色的天空低垂，空气中弥漫着冰雪将至的气息。
吉普车驶离车站，向南湖方向开去。
沿途街道规整如棋盘，偶尔能看到伪满时期留下的日式建筑，与新中国的建筑并列，形成跨越时代的对话。
越往南湖方向，建筑越稀少，大片的空地和零散的平房映入眼帘。
“咱们光机所在南湖大路附近。”李振华介绍道，“这一片是科研单位集中的地方。王大珩先生就是看中这里远离市区，干扰少，有扩展空间。”
车子拐上南湖大路，路面平整。
路两旁是整齐的松树，即使在冬季也保持着深绿色。
远处，一片建筑群逐渐显现，被围墙环绕的园区，中央一栋四层苏式主楼巍然矗立，深灰色的砖石外墙，陡峭的坡屋顶，高大整齐的窗户。
大门柱上挂着白底黑字的牌子：中国科学院光学精密机械仪器研究所，字体庄重有力。
持枪的卫兵检查证件后放行，园区内道路整洁，松柏挺立，主楼前的小广场中央，五星红旗在寒风中猎猎飘扬。
李振华安排三人入住主楼后的招待所。
房间虽简朴但干净暖和，暖气片散发着稳定的热量。
晚饭时间，李振华接他们到主楼地下的食堂。
穿过坐满科研人员的大厅，来到用屏风隔出的小间，已有四五人在等候。
“宋教授，欢迎！”一位五十多岁、头发花白、戴黑框眼镜的长者率先起身，“我是陈光远，主管光学部。王大珩所长在北京开会，委托我接待三位。”
陈光远与三人一一握手，目光在吕辰身上多停留了一瞬：“吕辰同志，刘星海教授在电话里特别提到了你。后生可畏！”
“陈副所长过奖了。”吕辰谦虚道。
陈光远又介绍在座的其他人：光学设计室主任张工、精密机械室主任王工、光电控制室主任孙工，都是各领域骨干。吕辰注意到，桌边还有几张陌生面孔。
“这几位是兄弟单位派驻我们所，联合攻关光刻机项目的同志。”陈光远继续介绍，“哈工大精密机械系的周工，上海机床厂技术科的刘工，武水院电网实验室的赵工。”
三人起身与吕辰他们握手。
周工约四十岁，面容精干，手上有老茧，一看就是常在一线；刘工稍年轻，戴着一副深度眼镜，镜片后的眼睛透着技术人员的专注；赵工则是典型的工程师模样，说话条理清晰。
“没想到能在这里遇见‘星河计划’的同志。”哈工大的周工笑道，“我们在所里搞了大半年机械平台，你们红星所在自动化方面的威名，我们早有耳闻，咱们一定要好好交流交流。”
上海机床厂的刘工推了推眼镜：“我们厂负责精密工作台的加工，遇到不少工艺难题。听说你们在‘掐丝珐琅’电路板上解决了类似问题，很想取取经。”
武水院的赵工说话直接：“电网稳定是精密设备的基础。你们搞自动化，对电力质量要求肯定也高，咱们有共同语言。”
这意外却合理的相遇让吕辰精神一振。
光刻机的研发果然不是光机所一家之事，而是全国协作的系统工程。
晚饭是简单的东北菜，但有一碗热气腾腾的酸菜白肉汤，在寒冷的冬夜格外暖胃。
席间，话题自然转向技术。
“陈副所长，”宋教授开口，“光刻技术是集成电路制造的关键，这次来就是想深入了解你们的进展和困难。”
陈光远放下筷子，神情严肃：“我们目前已经能在玻璃基板上稳定刻划出线宽5微米左右的图形，但离集成电路需要的2微米甚至更细，还有不小差距。”
“瓶颈在哪里？”宋教授问。
“多方面。”张工说，“首先是光源。高压汞灯紫外输出不稳定，能量起伏导致曝光不均匀。其次是物镜——我们自研的复消色差物镜，理论分辨率能达到2微米，但实际装调后，像差、畸变控制不理想。”
哈工大的周工插话：“机械部分问题也大。我们设计的工作台用蜗轮蜗杆传动，理论定位精度能达到微米级。但实际运行中，温度变化、振动、导轨磨损……各种因素叠加，重复定位精度就下来了。”
上海机床厂的刘工点头：“加工精度也有极限。我们厂能做蜗轮蜗杆，但齿形误差累积起来，传到工作台末端，误差就放大了。而且材料热处理后的尺寸稳定性，还需要改进。”
武水院的赵工接着说：“电力质量问题。我们测试过，所里电网电压波动能达到±10%，频率也有漂移。对精密设备来说，这是致命的。”
王工叹了口气：“最头疼的是套刻误差，两次曝光对不准，图形就重叠不上。平均偏移3微米，最大达到8微米。这个误差对集成电路是致命的。”
吕辰认真听着，这些问题的根源他前世在书本上都读过：需要更稳定的光源、更精密的物镜设计、闭环反馈系统、更纯净的电力……但在1962年，这些技术要么不存在，要么刚刚萌芽。
“我们听说你们在‘掐丝珐琅’电路板方面取得了突破。”陈光远看向吕辰，“那种工艺对精度要求也很高。你们是怎么解决类似问题的？”
吕辰想了想：“陈副所长，我们的‘掐丝珐琅’工艺本质是‘以粗代精’。铜线直径0.5毫米左右，误差允许0.1毫米——靠熟练工人的手感就能达到。但光刻需要微米级精度，差了两个数量级。”
他顿了顿：“不过，我们在质量控制上的一些思路也许有借鉴意义。我们建立严格的工艺规范，每道工序都有明确的参数范围和检验标准。记录每一批产品的数据，分析波动规律，找出影响质量的关键因素。虽然‘精度’不高，但‘一致性’在逐步提升。”
陈光远若有所思：“数据积累、过程控制……工业化管理的路子。”
“是的。”吕辰点头，“精密技术不能只靠个别老师傅的手艺，必须把经验转化为可重复、可传授的工艺规范。哪怕一开始规范不完美，但只要有数据积累，就能不断优化。”
哈工大的周工眼睛一亮：“这个思路好！我们搞机械的，老师傅调导轨间隙，手感玄得很。要是能把‘手感’量化成数据……”
“我们也尝试过。”上海机床厂的刘工说，“但加工中的变量太多：刀具磨损、冷却液温度、材料批次差异……记录不过来。”
武水院的赵工笑道：“我们电网监测倒是一直在记录数据。电压、频率、谐波……积累了几年，确实找出了一些规律。比如每天下午两点，厂区大电机启动时，电压会骤降。我们就调整了供电方案。”
陈光远看向吕辰：“听说你在半导体所建议了‘光学记录装置’和‘模型实验’？”
吕辰一愣。
陈光远笑了：“王守方所长昨天给我打电话，把你那两个建议夸了一通。说你们走后，所里连夜开会决定尝试。他还让我转告，要谢谢你的建议。”
小间里的人都笑了起来。
“小吕你也要多给我们提主意。”陈光远语气温和：“年轻人敢想敢说，是好事。我们这些老家伙有时容易陷入思维定式。听听不同角度的声音，没准真能打开新思路。”
晚饭在轻松的技术交流中结束。
陈光远嘱咐三人好好休息，明天一早开始正式参观。
第二天清晨，起床铃响。
吕辰拉开窗帘，东方天际泛着鱼肚白，园区路灯还亮着，几个早起的人影已在主楼前走动。
早饭后，众人开始参观，第一站是光学加工车间。
推开厚重的隔音门，一股混合着冷却液、抛光粉和金属的气息扑面而来。
车间灯火通明，一排排抛光机轰鸣运转。
每台机器前站着工人，身穿深蓝色工装，专注地观察镜片与抛光模的接触，不时添加乳白色的抛光粉悬浮液。
“这是古典抛光法。”张工介绍，“工人靠手感控制压力、速度和抛光时间，最终要让表面粗糙度达到纳米级。”
操作工人是个四十多岁的老师傅，眼神专注得像在雕琢艺术品，他双手轻扶抛光模边缘，通过细微调整控制抛光压力分布。
车间墙上贴着巨幅质量控制标准：
透镜中心偏差：不得大于0.5秒
面型精度：λ\/10（λ=632.8nm）
表面粗糙度：Ra≤1nm
这些数字背后是近乎苛刻的精度要求。
0.5秒的角度偏差，相当于在100米距离上偏差不到0.25毫米；λ\/10的面型精度，意味着镜片表面起伏不能超过63纳米——不到头发丝直径的千分之一。
哈工大的周工，拿起一台振动测量仪贴在机架上。
他指着手持仪表的指针，对吕辰等人说道：“我们怀疑工作台定位精度不够，部分原因是抛光机振动传导。你看这读数，机器一开，基础振动就传到整个车间。虽然光刻机有隔振地基，但低频振动很难完全隔离。”
陈光远叹气：“这是老问题了，厂里机床多，重型设备一开，地面都颤。我们抛光最怕这个，一震，镜片表面就出波纹。”
“想过主动隔振吗？”宋颜教授问。
“想过，但成本太高。”周工摇头，“一套气浮隔振平台，得进口，外汇批不下来。我们现在用橡胶垫加弹簧，效果有限。”
离开光学车间，下一站是装调实验室。
实验室里，几张庞大的花岗岩光学平台占据大部分空间。
平台上，复杂的系统正在装调：激光器、透镜组、反射镜、分光棱镜……构成一条条精密光路。
科研人员趴在平台旁，眼睛紧贴自准直仪或显微镜目镜，一只手缓缓旋转微调旋钮。
动作轻柔得仿佛呼吸重一点都会影响精度。
一位位三十来岁的女科研人员在旁边记录着数据，上海机床厂的刘工拿把笔记本拿了起来，上面密密麻麻写满了数据：温度、湿度、调整步骤、检测结果……
刘工指了指笔记本：“受你昨天的启发，我觉得应该系统记录。你看这位女同志，她调这个光谱仪系统已经三天了。我问她调了什么、为什么这么调，她只能说‘感觉’。这不行，经验必须能传递。”
女科研有些不好意思：“刘工说得对。我们光学装调，很多时候确实靠‘感觉’。看干涉条纹的形状，就知道哪里高了低了。但要说清楚为什么，难。”
“那就从记录开始。”陈光远强调，“每次装调，记录下所有可量化的参数：室温、湿度、每个调整螺丝转了多少度、调整前后的干涉条纹变化。时间长了，数据多了，也许能找出规律。”
第三站是精密机械车间。
车间里机床轰鸣，空气中弥漫着切削液的味道。
这里加工的是光刻机原型机的机械部件。
车间中央，一台大型龙门铣床的工作台上固定着光刻机工作台基座，老师傅正用千分表测量平面度。
武水院的赵工表情严肃：“昨天晚饭后，我测了所里几个点的电压，波动比想象中大。你们看这个插座，标称220伏，实测在210到230之间跳。频率也不稳，49.8到50.2赫兹。”
“对光刻机影响大吗？”宋颜教授问。
“很大。”赵工说，“精密设备对电源质量极其敏感。电压波动会导致光源输出不稳定，曝光不均匀。频率漂移会影响同步电机转速，进而影响工作台定位。更别说突发的电压尖峰，可能直接烧毁控制电路。”
“所里没有稳压设备？”
“有，但老了，响应速度慢。”赵工叹气，“而且整个所共用一台大稳压器，不同设备互相干扰。我建议每台精密设备配独立稳压电源，但成本太高，所里还在考虑。”
旁边工作台上，几个年轻技术员正在组装蜗轮蜗杆传动部件。
蜗轮齿面光滑如镜，蜗杆闪闪发亮。
他们用汽油仔细清洗每一个零件，在放大镜下装配。
“间隙要调到2微米以内。”一个技术员低声说，“太紧会卡死，太松回程误差大。”
“温度补偿算了吗？”同伴问。
“算了，按20度基准做的。实际运行会发热，留了0.5微米膨胀余量。”
吕辰听着，心里点头。
这些考虑已触及精密机械的核心，不仅要静态精度，还要考虑动态运行中的温度、振动、磨损。
终于，他们来到此行的核心目标，第一代光刻机原型所在的实验室。
实验室保密等级更高，进入前要登记，交出笔记本，穿上白大褂和鞋套。
警戒线内，那台“大家伙”静静矗立。
它比想象中更大，整体像巨大的铁柜，长约两米，宽一米五，高约一人半。
暗灰色钢板外壳上有不少接线孔和观察窗。
机器上方伸出粗黑的电缆，连接墙上的配电柜。
旁边还有水冷机，水管蜿蜒连接到机器内部。
透过正面的厚玻璃观察窗，能看到内部结构：圆形的工作台，上方悬吊的镜筒，侧面的光源痕迹。
“整体结构半封闭。”陈光远介绍，“内部需保持洁净。操作时，把涂有感光胶的玻璃基板放工作台上，关门，抽真空或充氮气，然后曝光。”
张工拿来一块玻璃片放在显微镜下：“这是曝光测试结果。”
吕辰凑到目镜前。视野里是密密麻麻的线条图案，线宽约5微米。但线条边缘不直，有微小波浪起伏；宽度不均匀；有些地方线条断了。
“5微米线宽测试图形。”张工说，“问题很多：线条边缘粗糙，宽度波动超30%；局部断线；不同区域线条宽度差异——曝光不均匀导致的。”
王工指着另一块玻璃片：“这是两次曝光的结果，先刻水平线，再刻竖直线，理论上应形成完美网格。但你们看。”
吕辰再看，水平线和竖直线交叉形成网格，但交叉点不对齐，有的偏移，有的完全错开，网格歪歪扭扭。
“平均偏移3微米，最大8微米。”王工叹气，“这个误差对集成电路是致命的。”
陈光远总结：“工作台定位重复精度不够；温度变化导致热胀冷缩；振动干扰……很多问题理论上知道解决方案，但实际做起来，要材料、要工艺、要设备，更要时间和经验。”
实验室安静下来，只有原型机内部隐约的风扇声和水冷机运行声。
这是中国第一代光刻机雏形，粗糙、不稳定、精度有限，但它代表一种方向，一种从无到有的突破。
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